EP 管通過電化學拋光工藝實現內壁 Ra≤0.2μm的鏡面級光滑度,這一指標直接決定其在超純介質輸送中的表現:
微觀結構優化:電拋光過程中,金屬表面微觀凸起被選擇性溶解,形成 “玻璃狀” 鈍化層,消除機械拋光導致的晶界損傷和應力集中。這種結構使 316L 不銹鋼的耐晶間腐蝕性能提升 3 倍(ASTM A262 Practice E 測試)。
污染物控制:通過 X 射線光電子能譜(XPS)檢測,EP 管表面碳、硫等雜質含量低于 0.1at%,且顆粒殘留≤5 個 /㎡(≥0.3μm),滿足 ISO Class 5 潔凈度要求(GB/T 36057-2018)。在半導體特氣輸送中,這種表面能避免納米級顆粒析出,確保晶圓缺陷率 < 0.1ppm(SEMI F19-1105)。
流體動力學優勢:光滑表面使層流狀態臨界雷諾數較 BA 管提高 18%,壓降減少 22%(《高純氣體管道工程設計規范》HG/T 20679-2014),顯著降低能耗并提升系統穩定性。